苯系物(BTEX)是一類常見的工業污染物，它通常包括苯、甲苯、二甲苯、苯乙烯等，主要來源于機動車尾氣、化工、石油化工以及橡膠粘合劑、油漆等。苯系物均為有毒化合物，對人體有傷害，長期吸入較的苯系物，會出現頭疼、頭暈及記憶力衰退等現象，并可導致血液系統   ，易引起白血病，嚴重者造成死亡。1996年我國環保部批準發布的《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996中規定了33種大氣污染物的排放限值，其中對苯、甲苯、二甲苯等苯系物的排放限值均有嚴格要求。因此，含苯系物廢氣的治理越來越受到人們重視，已成為大氣污染物治理的之一。常見的苯系物廢氣處理技術主要包括吸收法、吸附法、熱破壞法、冷凝法和膜分離法，近年來的新型治理技術有生物法、光催化法和等離子體法等，以下將對上述處理技術進行詳細介紹。
　　一、常規處理技術
　　1、吸收法
　　在油氣回收，采用苯系物在某些溶劑中的高溶解性，常采用高沸點、低蒸汽壓的親油性溶劑來吸收凈化含苯系物廢氣。程叢蘭等了一種新型苯系物吸收劑，它主要由水與少量無機鹽類活性組分及表面活性劑組成，苯系物初始濃度在200mg/m3~500mg/m3時，吸收去除效率在70%左右。
　　但該法目前選用的吸收劑大都本身即為易揮發的溶劑，存在易燃、易爆等特征，出口氣體濃度不因濃度的降低而下降，易造成二次污染，且后續對吸收液的處理較為繁瑣。
　　2、吸附法
　　活性炭凈化器吸附法在VOCs處理過程中有較多應用，對含苯系物廢氣、溶劑揮發、丙酮廢氣及煉化企業產生的廢氣均有較好的處理效果。在活性炭吸附裝置中吸附劑具有至關重要的作用，其化學組成和表面性質是吸附操作能否正常進行的。活性炭是處理廢氣中常見的吸附劑。以果殼活性炭為吸附劑，李珊紅等利用間歇式固定床活性炭吸附法處理電子線路板廠的含苯系物廢氣，經吸附處理后，苯、甲苯、二甲苯的凈化效率分別可達81.59%、83.5%和85.43%。
　　為提炭的苯吸附容量，Yao等通過KOH溶液處理和控制活化過程參數的方法對常規的活性炭進行改性，結果表明，KOH可顯著提炭表面活性，同時可降低活性炭中孔孔徑的比例，經改性后活性炭的比表面積與苯吸附容量可達1210㎡/g和423mg/g。經不同濃度H3P04溶液浸漬改性后，Tham等制備了一系列榴蓮皮型活性炭(DSAC)，其大BET比表面積可達1404㎡/g，且經30%H₃PO₄浸漬改性的DSAC具有高的甲苯脫除效率。
　　活性炭纖維是繼粉末狀和顆粒狀活性炭后的第三代活性炭產品。與常規活性炭相比，活性炭纖維具有孔隙率大、孔徑均一、高吸附容量等特點。另外，由于活性炭纖維的微孔直接通向外表面，吸附質分子內擴散距離較短，所以吸附和脫附速率高，殘留量少，因而其吸附能力比一般活性炭高1~10倍。
　　李守信等利用一種活性炭凈化設備處理某農藥廠生產過程中排放的含苯廢氣，該工藝苯的吸附效率可達以上，每年可回收苯270t，企業可得凈收益58.4萬元。金毓荃等采用產自遼寧遼源的活性炭纖維，研究了其凈化含苯系物廢氣工藝過程，確定了設計參數，并在中型試驗設備上進行了驗證，取得了滿意的凈化效果。另外，從微觀結構和宏觀形態上分析了活性炭纖維的吸附機理。
　　隨著對含苯系物廢氣排放要求的提高，某些具有特定吸附功能的新型多孔吸附材料了長足發展。例如，武占省等以十六烷基基嗅化鉸為改性劑，采用微波輔助合成法制備了膨潤土，結果表明膨潤土對苯系物的吸附量大小依次為二甲苯>甲苯>苯，其含碳量大小與苯系物的吸附能力具有明顯的正相關性。
　　3、熱破壞法
　　熱破壞法是目前應用較為廣泛的一類治理含苯系物廢氣的方法，特別對于低濃度情況。熱破壞法可分為直接火焰燃燒法和催化燃燒法。直接火焰燃燒法在多數情況下，氣流中物濃度較低，不足以在沒有輔助燃料時燃燒。催化燃燒法是利用催化劑使氣體在較低的溫度下(300℃~450℃)發生無焰燃燒，氧化分解為CO₂和H₂O。燃燒型催化劑按活性成分可分為貴金屬催化劑、過渡金屬氧化物催化劑和復氧化物催化劑。
　　張志強等采用浸漬法制備了三種整體式催化劑，通過實驗表明，CuMnCeZr/Al-Ti型整體式催化劑在259℃下催化燃燒苯時苯轉化率可達84%表現良好的低溫催化活性。王筱喃等采用Pt/Pd催化劑處理模擬含苯系物廢氣，實驗結果表明，R/Pd催化劑對含苯系物廢氣具有較強的脫除效果，在反應器入口溫度250℃、空速20000h^-1條件下，去除率可達以上。
　　該處理方法具有所需設備體積小、造價低及分解產物為   的CO₂和H₂O等諸多優點，但其催化劑價格較高，工藝條件要求嚴格，不允許廢氣中含有影響催化劑壽命和處理效率的塵粒和霧滴，也不允許有使催化劑中毒的物質，因此采用催化燃燒技術時須對廢氣作預處理。
　　4、膜分離法
　　膜分離法基本原理為采用對物具有選擇性滲透的高分子膜，在   壓力下使廢氣滲透通過而被富集，脫除了廢氣的氣體留在未滲透側，達到排放標準而排出系統。Xu等系統評價了聚丙烯中空纖維氣液膜接觸器對苯/氮氣的分離能力，考察了氣/液相流率、原料氣和初始液相濃度、液相溫度以及吸收劑濃度對去除效率的影響，結果顯示，在相對較高的液相流率情況下(>100mL/min)，氣態苯的脫除效率可達。該技術具有流程簡單、氣體回收率較高、能耗低、二次污染少等優點，但同時存在著設備投資費用高，適用于、小氣量和有較高回收價值的VOCs的回收。
　　5、冷凝法
　　冷凝法是利用廢氣中各組分在不同溫度下飽和蒸氣壓不同的特點，采用降低系統溫度或提高系統壓力，使處于飽和蒸氣狀態的污染物從廢氣中冷凝下來，從而達到分離回收目的。黃維秋等將冷凝技術作為處理可揮發廢氣的的前端，并與吸附技術進行集成，用來處理廢氣，取得了良好的效果。冷凝法優點為所需設備和操作條件簡單，且理論上回收組分的純度較高，但要獲得較高的回收率，往往需要較低的溫度和較高的壓力，所需能耗較大，故冷凝法不適合于進氣濃度較低的情況，在應用過程中應與其他處理技術相結合。
　　二、新型處理技術
　　1、生物處理法
　　生物處理法的實質是微生物在適宜的環境條件下，利用廢氣中物作為生命活動的能源及其營養物質，經代謝降解，轉化為簡單的無機物，從而起到處理物廢氣的目的。目前和應用的生物處理設備有生物過濾塔、生物滴濾塔、生物滴濾器及膜生物反應器等。
　　生物法的缺點主要是所能承載的污染物負荷不能太高，另外，對于氣態污染物生物進化的機制還不夠了解，設計和運行基本還停留在經驗和現場試驗獲取數據的水平，造成一些設備的運行效果不穩定。
　　2、光催化法
　　光催化氧化法是近年來處理揮發性污染物的研究熱點，光氧催化氧化設備主要指在紫外或可見光的照射下，利用催化劑的光催化氧化特性，使吸附在其表面的VOCs發生氧化還原反應，終轉變為的CO₂、H₂O以及無機小分子物質，從而達到降解目的。在所有光催化處理工藝中所用到的催化劑中，以TiO₂被研究的為廣泛。利用自制光催化反應器，俞欣等研究了TiO₂光催化處理二甲苯廢氣的影響因素，實驗結果表明，在紫外光強度1000W和風量1000m3/h時，對二甲苯的脫除率可達90%以上。金蘇君采用溶膠法制備了TiO₂柱撐膨潤土復合光催化劑，并詳細考察了該類型催化劑對含甲苯廢氣的降解性能，結果表明，UV光解催化氧化裝置在催化降解初始階段，反應速率主要取決于TiO₂的含量，膨潤土的   作用不明顯；但隨著光催化反應時間的延長，催化劑對甲苯的吸附性會影響催化劑對甲苯的降解率。Takeuchi等通過實驗發現，與常規TiO₂光催化劑相比，采用TiO₂/Y-沸石混合光催化劑可顯著提高處理含甲苯和苯廢氣的光反應速率。
　　3、等離子體法
　　等離子體法是通過放電過程中產生的大量活化離子與污染物分子發生反應，從而使污染物分子分解成為小分子化合物或氧化成容易處理的化合物，以達到分解處理目的。
　　吳健婷等采用線筒式反應器，研究了放電等離子體法脫除二甲苯的能力，結果表明，二甲苯脫除效率隨峰值電壓、反應時間增加而提高，隨反應物入口濃度增大而降低，高脫除率為71%。Kim等考察了Ag/TiO等離子體對低濃度含苯廢氣的處理效果，結果表明，當苯蒸氣入口濃度為110mg/m3、輸入能量密度為130J/L時，Ag/TiO₂等離子體可使苯去除率達到90%。
　　與其它處理技術相比，等離子體法具有處理流程短、、能耗低、適用范圍廣等特點。但該法對電源要求高，還會產生副產物，如NO_x等。
　　目前，含苯系物廢氣處理技術較多，各有優缺點，如傳統吸收法和吸附法盡管脫除苯系物效率較高，但脫附過程較為繁瑣，且易產生二次污染；熱破壞法對催化劑要求較高；膜分離法投資設備費用高，且對膜的選擇難度大；傳統的冷凝法對微量苯系物的脫除效果不經濟；生物處理法所能承載的污染物負荷不能太高，在大氣量、含苯系物廢氣情況下的應用受限；光催化法和等離子體法尚處于實驗階段，離工業化應用程度較遠。因此，在實際工程應用過程中，應對每種治理方法予以綜合考慮，才能做出合理選擇，另外，結合各處理技術的優點，將多種控制技術進行聯合使用應成為以后發展方向，比如，對低濃度的含苯系物廢氣，可選用吸附或吸收濃縮-催化燃燒方法來提高脫除效率等。